ラポテスターGP2型(MG-822GP2)
精密ラップ研削ラポテスターGP2型(MG-822GP2)
- (MG-822GP2)
〔概 要〕
本機はラップ研削、研磨(強制切り込み・定圧研磨)方式が1台でできるので、新しい材料の研削・研磨加工及び加工条件テストなどが可能な装置です。
〔特 長〕
- ワンチャッキングで粗研削からラッピング・ポリシングの複合研削・研磨加工が可能です。(ラップ研削=強制切込・定圧研磨)
- ワークを下部にラップ工具を上部に取付、ラップ圧力を任意にコントロールできます。(9.8~784N)
- ワークサイズΦ200㎜の鏡面加工が可能です。
- ワーク部・ラップ部に真空チャックの取付も可能です。(オプション)
〔用 途〕
シリコンウエハ、ハードディスク用基板(結晶化ガラス)、水晶振動子、メカニカルシール、ブロックゲージ、その他電子・光学部品の精密研削・研磨。
<標準セット>
| 本 体 |
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■オプション(選択)
| 研削方式 |
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| 遊離砥粒方式 |
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| ELID方式 |
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※研磨目的、試料の加工条件などにより、それぞれ適切な組合せが異なります。詳細はお問い合わせ下さい。
※ELID=電解インプロセスドレッシング
基本スペックと製品ラインナップ
| 項目 | 基本スペックと製品ラインナップ |
|---|---|
| 主電動機 | 三相200V 1.5kW |
| 下ラップ盤回転数 | 0~500min⁻¹(無段変速) |
| 下ラップ定盤直径 | Φ200㎜ |
| 真空チャック | 取付可能(オプション) |
| 加圧装置①定圧研磨 | 低摩擦シリンダーによる加圧
|
| 加圧装置②強制切込 | ステッピングモータによる切込み
|
| ワークの大きさ | Φ100㎜ |
| ワークモータ | 三相200V 1.5kW |
| ワーク回転数 | 0~2,000min⁻¹(無段変速) |
| 真空チャック | ワークが取付可能な構造(オプション) |
| 左右送りモータ | 200V 25W |
| 左右送り速度 | 50㎜/min(1/150) |
| 機体寸法 | 約W1,000㎜×L1,100㎜×H1,750㎜ |
| 機体質量 | 1,000㎏ |
| 製品ラインナップ | 〔No. 商品コード:製品名(型式)/単位〕
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