ミクロンマイスター(MC-181MY)
小型レシプロ高精度切断ミクロンマイスター(MC-181MY)
〔概 要〕
連続浅切り込み方式のコンパクトな卓上精密切断機です。
連続浅切り込み方式のコンパクトな卓上精密切断機です。
- オプションも多彩に用意し様々な切断目的に使用できます。
〔特 長〕
1）最小切り込み量0.1μm/passで設定可能のため極薄刃（100μm以下）や微細砥粒刃（#1,000以上）の使用が可能。
2）モニターシステム搭載やELID（電解インプロセスドレッシング）システム搭載が可能（オプション）。
〔用 途〕
1）単結晶（シリコン、SiC等）の精密切断。
2）ウエハパターン印刷の位置決め微細切断（ストリートカット）
3）IT部品の精密切断、格子状溝入れ。
4）TEM試料用微細加工。
※実績・実験の詳細はお問い合せ下さい。
●ミクロンマイスター(MC-181MY)
基本スペック
| 項目 | 基本スペック |
|---|---|
| ●砥石軸 | モータ 単相100V 120W |
| 砥石軸回転数 | 900～9,000min⁻¹（回転数表示計付） |
| 切断用フランジ | Φ80㎜ |
| 使用可能砥石径 | Φ75㎜～Φ100㎜ |
| ●左右送り部（X軸） | モータ 単相100V 90W |
| X軸送り速度/ストローク | 250㎜～5,000㎜/min/160㎜ |
| ●上下送り部（Z軸） | ステッピングモータ 単相100V |
| Z軸送り量/ストローク | 最小0.0001㎜/pass/30㎜ |
| ●前後テーブル部（Y軸） | |
| Y軸送り | 手動ハンドル式 |
| Y軸送り量/ストローク | デジタル表示 最小0.001㎜/50㎜
|
| ●テーブル上面から主軸芯まで | MAX180㎜ |
| ●ワーク取付 | |
| ワークの大きさ | 最大50□㎜×15t㎜ |
| ワークの取付 | 50□㎜×10t㎜の貼り付け板に接着にて固定 |
| ワークの固定 | クランプ治具による |
| ●クーラント部 | ポンプ：単相100V 60W タンク容量：20ℓ |
| 機体寸法 | W700㎜×L500㎜×H500㎜ |
| 本体質量 | 約120㎏ |
'