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ミクロンマイスター(MC-181MY)

小型レシプロ高精度切断
    ミクロンマイスター(MC-181MY)

〔概 要〕
連続浅切り込み方式のコンパクトな卓上精密切断機です。
    オプションも多彩に用意し様々な切断目的に使用できます。

    〔特 長〕
    1)最小切り込み量0.1μm/passで設定可能のため極薄刃(100μm以下)や微細砥粒刃(#1,000以上)の使用が可能。
    2)モニターシステム搭載やELID(電解インプロセスドレッシング)システム搭載が可能(オプション)。

    〔用 途〕
    1)単結晶(シリコン、SiC等)の精密切断。
    2)ウエハパターン印刷の位置決め微細切断(ストリートカット)
    3)IT部品の精密切断、格子状溝入れ。
    4)TEM試料用微細加工。

    ※実績・実験の詳細はお問い合せ下さい。

基本スペック

項目 基本スペック
●砥石軸 モータ 単相100V 120W
砥石軸回転数 900~9,000min⁻¹(回転数表示計付)
切断用フランジ Φ80㎜
使用可能砥石径 Φ75㎜~Φ100㎜
●左右送り部(X軸) モータ 単相100V 90W
X軸送り速度/ストローク 250㎜~5,000㎜/min/160㎜
●上下送り部(Z軸) ステッピングモータ 単相100V
Z軸送り量/ストローク 最小0.0001㎜/pass/30㎜
●前後テーブル部(Y軸)
Y軸送り 手動ハンドル式
Y軸送り量/ストローク デジタル表示 最小0.001㎜/50㎜
    ※オプションにてステッピングモータ搭載、自動切断方式に変更も可能。
●テーブル上面から主軸芯まで MAX180㎜
●ワーク取付
ワークの大きさ 最大50□㎜×15t㎜
ワークの取付 50□㎜×10t㎜の貼り付け板に接着にて固定
ワークの固定 クランプ治具による
●クーラント部 ポンプ:単相100V 60W タンク容量:20ℓ
機体寸法 W700㎜×L500㎜×H500㎜
本体質量 約120㎏